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半导体车间的TEOS“感知眼”

2025-12-14 16:47:55 点击：

半导体车间的TEOS“感知眼”

在半导体制造过程中，正硅酸乙酯（TEOS）常被用作化学气相沉积（CVD）工艺中的硅源材料，用于生成二氧化硅绝缘层。尽管其使用通常在密闭系统中进行，但在供料管路连接、阀门切换或设备维护等环节，仍存在微量蒸气逸散的可能性。由于TEOS具有一定刺激性，且在高洁净度环境中对工艺稳定性也有潜在影响，对其泄漏进行持续监测成为车间环境管理的一项参考措施。

TD500S-TEOS-A在线式正硅酸乙酯泄漏检测仪，如同车间里一双专注的“感知眼”，可固定安装在气体柜、输送管道周边或排风系统附近，实现对空气中TEOS浓度的连续监测。当检测值接近预设的参考阈值时，设备可触发声光报警，并支持将信号接入中央控制系统，便于联动通风或启动应急响应程序。

TD500S-TEOS-A在线式正硅酸乙酯泄漏检测仪采用电化学传感器技术，具备长期运行稳定性，并符合工业现场的防护与防爆要求。虽然它不直接参与工艺控制，但能为人员安全和环境管理提供一份实时数据支持。

在追求精mi与洁净的半导体车间，每一个细节都值得被关注。这双“感知眼”不喧哗，却始终在场——默默守护着空气的纯净与作业的有序。